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半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
标准号：GB/T 24578-2024
发布日期：2024-07-24
实施日期：2025-02-01
部分代替标准：暂无
全部代替标准：GB/T 24578-2015,GB/T 34504-2017
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77冶金77.040金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：暂无
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
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156-0036-6678
