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半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
标准号：GB/T 43894.1-2024
发布日期：2024-04-25
实施日期：2024-11-01
部分代替标准：暂无
全部代替标准：暂无
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77冶金77.040金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：暂无
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
山东有研半导体材料有限公司
金瑞泓微电子（嘉兴）有限公司
广东天域半导体股份有限公司
浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
中环领先半导体材料有限公司
鸿星科技（集团）股份有限公司
王玥
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李春阳
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