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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
标准号：GB/T 43748-2024
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
部分代替标准：暂无
全部代替标准：暂无
标准类别：方法
中国标准分类号：N 33
国际标准分类号：71化工技术71.040分析化学71.040.40化学分析
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：暂无
主管部门：全国微束分析标准化技术委员会
广东省科学院工业分析检测中心
胜科纳米（苏州）股份有限公司
南方科技大学
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156-0036-6678
