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半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法
标准号：GB/T 43493.3-2023
发布日期：2023-12-28
实施日期：2024-07-01
部分代替标准：暂无
全部代替标准：暂无
标准类别：方法
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31电子学31.080半导体分立器件31.080.99其他半导体分立器件
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：暂无
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 63068-3:2020。
采标中文名称:半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法。
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