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III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法
标准号:GB/T 44558-2024
发布日期:2024-09-29
实施日期:2025-04-01
部分代替标准:暂无
全部代替标准:暂无
标准类别:方法
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:77冶金77.040金属材料试验
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准委
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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