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微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
标准号：GB/T 44842-2024
发布日期：2024-10-26
实施日期：2024-10-26
部分代替标准：暂无
全部代替标准：暂无
标准类别：方法
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31电子学31.080半导体分立器件31.080.99其他半导体分立器件
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准委
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-18:2013。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第18部分：薄膜材料的弯曲试验方法。
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156-0036-6678
