晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备
标准号：SJ/T 11829.2-2022
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
部分代替标准：
全部代替标准：
标准类别：产品标准
中国标准分类号：
国际标准分类号：
归口单位：
执行单位：
156-0036-6678
